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 The effect of an oxygen plasma exposure on the reliability of a Ti/TiN contact metallization 氧等离子体暴露对Ti/TiN接触金属化可靠性的影响
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期刊：Journal of applied physics 作者：L. Ouellet; Yves Tremblay; G. Gagnon; Mario Caron; J. F. Currie; et al 出版日期：1996-04-15 |
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