The effect of an oxygen plasma exposure on the reliability of a Ti/TiN contact metallization

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标题	The effect of an oxygen plasma exposure on the reliability of a Ti/TiN contact metallization 氧等离子体暴露对Ti/TiN接触金属化可靠性的影响相关领域锡弹性后坐力检测材料科学氧气接触电阻等离子体分析化学（期刊）冶金复合材料化学薄膜纳米技术图层（电子）有机化学物理量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1063/1.361753
DOI	10.1063/1.361753 doi
其它	期刊：Journal of applied physics 作者：L. Ouellet; Yves Tremblay; G. Gagnon; Mario Caron; J. F. Currie; et al 出版日期：1996-04-15
求助人	Zephyr 在 2024-07-18 12:34:06 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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