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 Modeling and in-depth analysis of the mid-spatial-frequency error influenced by actual contact pressure distribution in sub-aperture polishing 子孔径抛光中实际接触压力分布影响中空间频率误差的建模与深入分析
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波前
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期刊：Optics Express 作者：Lanya Zhang; Songlin Wan; Hanjie Li; Hao Guo; Chaoyang Wei; et al 出版日期：2023-03-31 |
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