Influence of High-κ Dielectrics Integration on ALD-Based MoS2 Field-Effect Transistor Performance

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标题	Influence of High-κ Dielectrics Integration on ALD-Based MoS2 Field-Effect Transistor Performance 高k介电集成度对ILD基MoS 2场效应晶体管性能的影响相关领域电介质高-κ电介质材料科学晶体管光电子学场效应晶体管工程物理领域（数学）电气工程工程类电压数学纯数学
网址	https://doi.org/10.1021/acsanm.4c02214
DOI	10.1021/acsanm.4c02214 doi
其它	期刊：ACS Applied Nano Materials 作者：Reyhaneh Mahlouji; Yue Zhang; Marcel A. Verheijen; Saurabh Karwal; Jan P. Hofmann; et al 出版日期：2024-08-12
求助人	Fishpieee 在 2024-09-18 14:44:07 发布自四川，悬赏 10 积分
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