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 Novel Carrier Measurement Methodology for Floating Gate of Sub-20 nm Node Flash Memory Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy 基于扫描非线性介电显微镜的亚20nm节点闪存浮栅载流子测量新方法
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期刊：Proceedings - International Symposium for Testing and Failure Analysis 作者：Jun Hirota; Shiro Takeno; Yuji Yamagishi; Yasuo Cho 出版日期：2018-11-01 |
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