Modeling the sensing behavior of a MEMS field ionization device coupled with capacitive actuation

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标题	Modeling the sensing behavior of a MEMS field ionization device coupled with capacitive actuation 电容驱动MEMS场电离器件传感特性的建模相关领域电容感应多物理微尺度化学电场材料科学微电子机械系统光电子学电极电离电压纳米线场电子发射领域（数学）有限元法电子电气工程物理工程类离子数学教育数学量子力学热力学纯数学
网址	https://doi.org/10.1109/icsens.2012.6411421
DOI	10.1109/icsens.2012.6411421 doi
其它	期刊：作者：Thomas Walewyns; Laurent Francis 出版日期：2012-10-01
求助人	ljy 在 2024-05-16 08:53:09 发布自河南，悬赏 10 积分
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