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Effect of substrate temperature on the structure and optical properties of ZnO thin films deposited by reactive rf magnetron sputtering
衬底温度对反应射频磁控溅射沉积ZnO薄膜结构和光学性能的影响
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期刊:Thin solid films 作者:Sukhvinder Singh; R.S. Srinivasa; S.S. Major 出版日期:2007-10-01 |
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