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 Electrical and photonic characteristics of Indium-Gallium-Zinc-Oxide fabricated through the utilization of HiPIMS 利用HiPIMS制备铟镓锌氧化物的电学和光子特性
相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
铟
镓
光电子学
锌
透射率
电阻率和电导率
透明导电膜
电子工程
溅射沉积
纳米技术
电气工程
溅射
薄膜
冶金
工程类
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| 其它 |
期刊： 作者：Y. Chao; Yang‐Ming Lu; Shenghui Chen 出版日期：2023-01-01 |
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