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Electrical and photonic characteristics of Indium-Gallium-Zinc-Oxide fabricated through the utilization of HiPIMS

高功率脉冲磁控溅射 材料科学 铟 镓 光电子学 锌 透射率 电阻率和电导率 透明导电膜 电子工程 溅射沉积 纳米技术 电气工程 溅射 薄膜 冶金 工程类
作者
Y. Chao,Yang‐Ming Lu,Shenghui Chen
标识
DOI：10.1364/iprsn.2023.jtu4a.34
摘要
HiPIMS was utilized to produce Indium-Gallium-Zinc-Oxide (IGZO) films and evaluate their IR transmittance, resistivity, carrier mobility, and carrier concentration at various HiPIMS duty cycles and oxygen flux, in order to determine the optimal process parameters.
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