发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
A Particle Reduction Strategy for Plasma Etching Processes
相关领域
蚀刻（微加工） 还原（数学） 等离子体 等离子体刻蚀 粒子（生态学） 材料科学 计算机科学 光电子学 纳米技术 物理 数学 地质学 核物理学 几何学 海洋学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1109/asmc61125.2024.10545452
DOI
10.1109/asmc61125.2024.10545452 doi
其它 期刊：
作者：Jae-In Jeong; Y. H. Kim; Jiyeon Lee; Youngjeong Kim
出版日期：2024-05-13
求助人
Bennyz 在 2024-09-12 19:59:19 发布自江苏，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Ultimate Top-down Etching Processes for Future Nanoscale Devices: Advanced Neutral-Beam Etching
  2. Selective etching of SiO2 relative to Si by plasma reactive sputter etching
  3. The role of feedgas chemistry, mask material, and processing parameters in profile evolution during ...
  4. Optical interferometry Endpoint Detection for Plasma Etching
  5. Microfabrication Technique by Gas Plasma Etching Method
  6. A novel two-step etching to suppress the charging damages during metal etching employing helicon wav...
  7. SiC Plasma and Electrochemical Etching for Integrated Technology Processes
  8. MICROFABRICATION TECHNIQUE BY GAS PLASMA ETCHING METHOD
  9. <title>Etching technology and applications for through-the-wafer silicon etching</title>
  10. Plasma Chemistry
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    19:59:22 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    19:59:19 科研通AI机器人（英国 伦敦）收到请求，开始寻找文献
    19:59:19 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    Bennyz Bennyz 求助人 Lv32 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
你好吗发布了新的文献求助10
刚刚
刚刚
阿米不吃菠菜完成签到 ，获得积分10
1秒前
0x1orz完成签到，获得积分10
2秒前
2秒前
3秒前
4秒前
默默小海豚完成签到 ，获得积分10
4秒前
4秒前
放假了万岁完成签到，获得积分10
6秒前
夏凛完成签到 ，获得积分10
6秒前
海棠依旧发布了新的文献求助30
7秒前
8秒前
活力盼晴发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
13秒前
13秒前
酷炫千凝完成签到 ，获得积分10
15秒前
15秒前
16秒前
调皮千兰发布了新的文献求助10
17秒前
18秒前
18秒前
小村外发布了新的文献求助10
19秒前
085400发布了新的文献求助10
19秒前
张zzzz完成签到，获得积分10
21秒前
22秒前
23秒前
ding的应助被放假了万岁采纳，获得10
25秒前
26秒前
26秒前
27秒前
脑洞疼的应助被ABin采纳，获得10
28秒前
英俊的铭的应助被085400采纳，获得10
28秒前
112233完成签到，获得积分20
29秒前
焱焱不忘完成签到 ，获得积分10
29秒前
30秒前
诚心天奇完成签到，获得积分10
30秒前
30秒前
完美世界的应助被调皮千兰采纳，获得10
32秒前
高分求助中
Handbook of Fuel Cells, 6 Volume Set 1666
Floxuridine; Third Edition 1000
Tracking and Data Fusion: A Handbook of Algorithms 1000
Sustainable Land Management: Strategies to Cope with the Marginalisation of Agriculture 800
消化器内視鏡関連の偶発症に関する第７回全国調査報告2019〜2021年までの３年間 500
One Man Talking: Selected Essays of Shao Xunmei, 1929–1939 500
Framing China: Media Images and Political Debates in Britain, the USA and Switzerland, 1900-1950 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 内科学 物理 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 冶金 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 2860380
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2465060
关于积分的说明 6682941
捐赠科研通 2156594
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1145709
版权声明 585020
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 562959
Copyright © 2020-2024 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通