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标题
Photochemical wet etching of single-crystal c-plane AlN under UV illumination
紫外光下c面AlN单晶的光化学湿法刻蚀
相关领域
蚀刻（微加工） 材料科学 光化学 光电子学 Crystal（编程语言） 单晶 平面（几何） 光学 化学 结晶学 纳米技术 物理 几何学 数学 图层（电子） 计算机科学 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.162926
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.162926 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Junghyun Park; Jueun Baek; Kwang Hyeon Baik; F. Ren; S. J. Pearton; et al
出版日期：2025-03-01
求助人
鹿子很野 在 2025-04-15 17:06:10 发布自福建，悬赏 10 积分
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