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标题
Scalable Fabrication of 3D Optical Re-distribution for Co-Packaged Optics using an Developed Nanoimprint Stepper
使用开发的纳米压印步进机可扩展地制造共封装光学器件的3D光学再分布
相关领域
步进电机 制作 材料科学 光子学 基质（水族馆） 光学 光电子学 纳米压印光刻 硅光子学 硅 纳米技术 物理 地质学 病理 海洋学 医学 替代医学
网址
https://doi.org/10.1109/ectc51529.2024.00229
DOI
10.1109/ectc51529.2024.00229 doi
其它 期刊：
作者：Fumi Nakamura; Kenta Suzuki; Akihiro Noriki; Satoshi Suda; Takayuki Kurosu; et al
出版日期：2024-05-28
求助人
Henry 在 2025-04-16 11:36:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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  • 6小时前

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