Atomically Engineered Hf0.5Zr0.5O2 Integrated Nano-Electromechanical Transducers - 科研通

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标题	Atomically Engineered Hf0.5Zr0.5O2 Integrated Nano-Electromechanical Transducers 原子工程Hf0.5Zr 0.5 O2集成纳米机电换能器相关领域谐振器材料科学光电子学铁电性传感器共振（粒子物理）电致伸缩 CMOS芯片纳米- 压电纳米技术电气工程工程类复合材料物理电介质粒子物理学
网址	https://doi.org/10.1038/s41928-019-0305-3
DOI	10.1038/s41928-019-0305-3 doi
其它	期刊：arXiv: Mesoscale and Nanoscale Physics 作者：Mayur Ghatge; Glen Walters; Toshikazu Nishida; Roozbeh Tabrizian 出版日期：2019-04-11
求助人	duidui 在 2024-12-24 18:33:09 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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