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 Surface morphology and chemical microstructure of glow discharge polymer films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition at various Ar/H2 ratios 不同Ar/H2比下等离子体增强化学气相沉积辉光放电聚合物薄膜的表面形貌和化学微观结构
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期刊：Vacuum 作者：Guo Chen; Xing Ai; Ling Zhang; Yansong Liu; Tao Wang; et al 出版日期：2022-05-01 |
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