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 Atomic-scale theory on current-assisted thermochemical degradation mode and its field acceleration via charge trapping of O vacancy in HfSiO4 HfSiO4中O空位电荷俘获对电流辅助热化学降解模式及其场加速的原子尺度理论
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：Yasushi Nakasaki; Izumi Hirano; Koichi Kato; Yuichiro Mitani 出版日期：2009-03-14 |
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