标题 |
Electronic passivation of silicon surfaces by thin films of atomic layer deposited gallium oxide
原子层沉积氧化镓薄膜对硅表面的电子钝化
相关领域
钝化
三甲基镓
材料科学
硅
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外延
金属有机气相外延
物理化学
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备注 |
不要手稿,要正式版
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