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Novel In-House Fabrication of Nano Lab-On-Chip Devices
纳米芯片实验室器件的新型内部制造
相关领域
制作
光刻胶
材料科学
反应离子刻蚀
深反应离子刻蚀
蚀刻(微加工)
纳米技术
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光电子学
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医学
病理
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