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Electrothermal MEMS grating based miniaturized spectrometer
基于电热MEMS光栅的微型光谱仪
相关领域
材料科学
栅栏
分光计
微电子机械系统
衍射光栅
光电二极管
光学
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期刊: 作者:Jaehun Jeon; Myeong‐Su Ahn; Jung‐Woo Park; Gi Beom Kim; Ki-Hun Jeong 出版日期:2022-03-09 |
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