Research on Motion Simulation of Wafer Handling Robot Based on SCARA

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标题	Research on Motion Simulation of Wafer Handling Robot Based on SCARA 基于SCARA的晶圆搬运机器人运动仿真研究相关领域斯卡拉机器人反向动力学机器人校准机器人运动学模拟关节式机器人控制理论（社会学）工程类弹道运动学控制工程计算机科学 Arm解决方案移动机器人人工智能物理控制（管理）天文经典力学
网址	https://doi.org/10.1109/icept.2018.8480663
DOI	10.1109/icept.2018.8480663 doi
其它	期刊：作者：Yunbo He; Jiajun Chen; Jian Gao; Chengqiang Cui; Zhijun Yang; et al 出版日期：2018-08-01
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