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标题
Stress analysis of W_xSi_(1-x)/Si multilayer prepared by co-deposited magnetron sputtering
磁控溅射共沉积W_xSi_(1-x)/Si多层膜的应力分析
相关领域
材料科学 溅射沉积 压力（语言学） 复合材料 抗压强度 溅射 高功率脉冲磁控溅射 腔磁控管 薄膜 光电子学 纳米技术 语言学 哲学
网址
https://en.cnki.com.cn/Article_en/CJFDTOTAL-GXYQ201504018.ht...
AI链接 cnki.com.cn
DOI
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其它 期刊：Optical Instruments
作者：Ji Bi
出版日期：2015-01-01
求助人
阳光总在风雨后 在 2025-02-25 21:27:08 发布自上海，悬赏 10 积分
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