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标题
Inductively coupled plasma etching of SiO2 layers for planar lightwave circuits
平面光波电路用SiO2层的电感耦合等离子体刻蚀
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1016/s0040-6090(98)01553-3
DOI
10.1016/s0040-6090(98)01553-3 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Suntae Jung; Hyung-Seung Song; Dong-Su Kim; Hyoun‐Soo Kim
出版日期：1999-03-01
求助人
jacob258 在 2024-12-22 20:41:37 发布自江苏，悬赏 10 积分
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