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 Atomic Layer Deposition and Thermal Transformations of Aluminum-Vanadium Oxide Thin Films 铝钒氧化物薄膜的原子层沉积和热转变
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期刊：Russian Journal of General Chemistry 作者：А. И. Абдулагатов; A. M. Maksumova; Д. К. Палчаев; М. Х. Рабаданов; Ilmutdin M. Abdulagatov 出版日期：2022-08-01 |
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