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High quality ITO thin films grown by dc and RF sputtering without oxygen
无氧直流和射频溅射制备高质量ITO薄膜
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期刊:Journal of Physics D 作者:Ö. Tuna; Yusuf Selamet; Gülnur Aygün; L. Özyüzer 出版日期:2010-01-21 |
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