Reduction of threading screw dislocations in 4H-SiC crystals by a hybrid method with solution growth and physical vapor transport growth

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标题	Reduction of threading screw dislocations in 4H-SiC crystals by a hybrid method with solution growth and physical vapor transport growth 溶液生长和物理气相传输生长混合方法减少4H-SiC晶体中的螺纹位错相关领域材料科学图层（电子）位错表面光洁度能量转换效率碳化硅产量（工程）表面粗糙度晶体生长线程（蛋白质序列）化学气相沉积复合材料光电子学结晶学化学生物化学蛋白质结构
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2021.126189
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2021.126189 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Takeshi Mitani; Kazuma Eto; Naoyoshi Komatsu; Yuichiro Hayashi; Hiromasa Suo; et al 出版日期：2021-08-15
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