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 UV nanosecond laser machining and characterization for SiC MEMS sensor application SiC MEMS传感器的紫外纳秒激光加工与表征
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Yunbo Shi; Yanan Sun; Jun Liu; Jun Tang; Jie Li; et al 出版日期：2018-04-22 |
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