A study of the morphology and microstructure of LPCVD polysilicon

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标题	A study of the morphology and microstructure of LPCVD polysilicon LPCVD多晶硅的形貌和微观结构研究相关领域材料科学无定形固体成核微观结构化学气相沉积微晶退火（玻璃）复合材料薄膜粒度矿物学纳米技术冶金结晶学化学有机化学
网址	https://doi.org/10.1007/bf01352184
DOI	10.1007/bf01352184 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science 作者：Eun Gu Lee; Sa Kyun Rha 出版日期：1993-12-01
求助人	猫只想在 2024-10-17 14:54:56 发布自四川，悬赏 10 积分
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