等离子增强 ALD 在 GaN 上低温沉积高纯 AlN 晶体薄膜

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标题	等离子增强 ALD 在 GaN 上低温沉积高纯 AlN 晶体薄膜相关领域材料科学原子层沉积钝化氮化物光电子学氮化镓薄膜等离子体蓝宝石图层（电子）氮化铝铝纳米技术复合材料光学激光器物理量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2023.112114
DOI	10.1016/j.vacuum.2023.112114 doi
求助人	仁爱吐司在 2024-10-17 11:24:53 发布自北京，悬赏 10 积分
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