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 Properties of MoOx thin films prepared by magnetron sputtering 磁控溅射法制备MoOx薄膜的性能研究
相关领域
材料科学
薄膜
溅射沉积
腔磁控管
溅射
高功率脉冲磁控溅射
化学工程
光电子学
纳米技术
工程类
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期刊：Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays 作者：王效坤; Xiaokun Wang; 房伟华; Weihua Fang; 刘飞; et al 出版日期：2020-01-01 |
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