Influence of surface morphology and processing parameters on polishing of silicon carbide ceramics using femtosecond laser pulses

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标题	Influence of surface morphology and processing parameters on polishing of silicon carbide ceramics using femtosecond laser pulses 相关领域材料科学抛光飞秒碳化硅陶瓷激光器光电子学激光烧蚀光学硅表面粗糙度复合材料物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfin.2022.102528
DOI	10.1016/j.surfin.2022.102528 doi
其它	期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Qingzhen Zheng; Xuesong Mei; Gedong Jiang; Zhaoxuan Yan; Zhengjie Fan; et al 出版日期：2022-11-01
求助人	会飞的芝士在 2023-05-16 10:19:42 发布自广东，悬赏 10 积分
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