Air stable plasma passivation of GaAs at room temperature

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标题	Air stable plasma passivation of GaAs at room temperature 室温下GaAs的空气稳定等离子体钝化相关领域钝化材料科学光致发光等离子体感应耦合等离子体光电子学分析化学（期刊）半导体蚀刻（微加工）宽禁带半导体图层（电子）纳米技术化学物理量子力学色谱法
网址	https://doi.org/10.1063/5.0165867
DOI	10.1063/5.0165867 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Christoffer Kauppinen 出版日期：2023-12-19
求助人	苹果在 2025-02-21 11:00:09 发布自浙江，悬赏 10 积分
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