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 Orientation dependent etching of polycrystalline diamond by hydrogen plasma 氢等离子体对聚晶金刚石的取向相关刻蚀
相关领域
钻石
蚀刻（微加工）
材料科学
等离子体刻蚀
氢
微晶
纳米技术
化学
复合材料
冶金
有机化学
图层（电子）
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Daichi Yoshii; Mami N. Fujii; Mutsunori Uenuma; Yukiharu Uraoka 出版日期：2022-07-11 |
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