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标题
Side-Wall Angle Uniformity Improvement in Shallow Trench Isolation Process
浅沟槽隔离工艺中侧壁角均匀性的改善
相关领域
浅沟隔离 薄脆饼 材料科学 蚀刻（微加工） 硅 制作 GSM演进的增强数据速率 沟槽 产量（工程） 光电子学 接触角 过程（计算） 芯（光纤） 光学 复合材料 图层（电子） 计算机科学 物理 操作系统 医学 电信 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1109/cstic61820.2024.10531979
DOI
10.1109/cstic61820.2024.10531979 doi
其它 期刊：
作者：Dong Li; Guang Yang; Zhicheng Song; Jing Wang; Zhongwei Jiang; et al
出版日期：2024-03-17
求助人
舒服的网络 在 2024-12-22 20:32:35 发布自广东，悬赏 10 积分
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