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标题
Mechanistic influence on uniformity of sheet resistance of AlGaN/GaN HEMT grown on Si substrate with the graded AlGaN buffer layers
梯度AlGaN缓冲层对Si衬底AlGaN/GaN HEMT薄膜电阻均匀性的机理影响
相关领域
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网址
DOI
10.1016/j.vacuum.2022.110966 doi
其它 期刊:Vacuum
作者:Jinbang Ma; Yachao Zhang; Yifan Li; Tao Zhang; Yixin Yao; et al
出版日期:2022-05-01
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