A Capacitance Ultrasonic Transducer With Micromachined Backplate for Fast Flow Measurements in Hot Pulsating Gases

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标题	A Capacitance Ultrasonic Transducer With Micromachined Backplate for Fast Flow Measurements in Hot Pulsating Gases 用于热脉动气体快速流量测量的微加工背板电容超声换能器相关领域传感器电容式微机械超声换能器超声波传感器材料科学声学电容 PMUT公司内燃机压电流量测量废气汽车工程电极工程类机械复合材料物理量子力学废物管理
网址	https://doi.org/10.1109/jsen.2006.877975
DOI	10.1109/jsen.2006.877975 doi
其它	期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Andreas Schröder; Mario Kupnik; Patrick O’Leary; E. Benes; Martin Gröschl 出版日期：2006-07-26
求助人	zhao 在 2024-10-15 20:26:32 发布自河北，悬赏 10 积分
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