BEOL Post-processing of Phase Change Material in Commercial Foundry Silicon Photonics

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标题	BEOL Post-processing of Phase Change Material in Commercial Foundry Silicon Photonics 商业代工硅光子学中相变材料的BEOL后处理相关领域铸造厂光子学材料科学硅硅光子学光电子学冶金
网址	https://doi.org/10.1364/cleo_at.2024.jth2a.99
DOI	10.1364/cleo_at.2024.jth2a.99 doi
其它	期刊：作者：Uthkarsh Adya; Daniel Sturm; Rui Chen; Arka Majumdar; Mo Li; et al 出版日期：2024-01-01
求助人	sun 在 2024-11-11 17:45:13 发布自澳大利亚，悬赏 10 积分
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