Pattern distortion in nanoimprint lithography using UV-curable polymer stamps - 科研通

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标题	Pattern distortion in nanoimprint lithography using UV-curable polymer stamps 使用UV固化聚合物印章的纳米压印光刻中的图案失真相关领域纳米压印光刻材料科学平版印刷术聚合物失真（音乐）光电子学纳米技术复合材料制作医学放大器替代医学 CMOS芯片病理
网址	https://doi.org/10.1016/j.mne.2024.100293
DOI	10.1016/j.mne.2024.100293 doi
其它	期刊：Micro and Nano Engineering 作者：Fangfang Li; Marina Fetisova; Mervi Koskinen; Jukka Viheriälä; Tapio Niemi; et al 出版日期：2024-11-01
求助人	陈皮糖不酸在 2025-01-15 19:00:53 发布自吉林，悬赏 10 积分
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