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标题
High accuracy electromagnetic full-chip modeling for curvilinear mask OPC and ILT
曲线掩模OPC和ILT的高精度电磁全芯片建模
相关领域
曲线坐标 炸薯条 计算电磁学 计算机科学 电磁兼容性 电子工程 工程类 电磁场 电信 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1117/12.3013089
DOI
10.1117/12.3013089 doi
其它 期刊：
作者：Enas Sakr; Zac Levinson; Rob DeLancey; Chung-Kook Lee; Jinguang Li; et al
出版日期：2024-04-09
求助人
勤劳怜寒 在 2024-11-08 17:11:23 发布自四川，悬赏 20 积分
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