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Design of Projection Lithography Objective Lens with Sub-Ten Micrometer Line-Width and its MTF Experimental Measurements
亚微米线宽投影光刻物镜的设计及其MTF实验测量
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网址
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/amr.901.111
DOI
10.4028/www.scientific.net/amr.901.111 doi
其它 期刊：Advanced materials research
作者：Lei Liang; Xin Liu; Lang Lin Li; Jin Zhou
出版日期：2014-02-01
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Alan 在 2025-02-12 10:29:48 发布自上海，悬赏 30 积分
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