Reduced fatigue and leakage of ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors by thin alumina interlayers at the top or bottom interface

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标题	Reduced fatigue and leakage of ferroelectric TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN capacitors by thin alumina interlayers at the top or bottom interface 通过顶部或底部界面的薄氧化铝夹层降低铁电TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN电容器的疲劳和泄漏相关领域材料科学铁电性锡电容器电介质泄漏（经济）光电子学薄膜纳米技术电气工程冶金电压宏观经济学经济工程类
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6528/acad0a AI链接 nih.govdoi.org
DOI	10.1088/1361-6528/acad0a doi
其它	期刊：Nanotechnology 作者：H. Alex Hsain; Young H. Lee; Suzanne Lancaster; Patrick D. Lomenzo; Bohan Xu; et al 出版日期：2022-12-20
求助人	三金在 2025-03-07 10:22:07 发布自河北，悬赏 10 积分
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