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标题
Role of a cyclopentadienyl ligand in Hf precursors using H2O or O3 as oxidant in atomic layer deposition
环戊二烯基配体在原子层沉积中以H2O或O3为氧化剂的Hf前体中的作用
相关领域
原子层沉积 环戊二烯基络合物 图层（电子） 沉积（地质） 配体（生物化学） 化学 无机化学 地质学 有机化学 受体 催化作用 古生物学 生物化学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004358
DOI
10.1116/6.0004358 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Youngmin Song; H. S. Kim; Soo Hyun Lee; Sujin Kwon; Bonggeun Shong; et al
出版日期：2025-03-01
求助人
zhang狗子 在 2025-04-15 15:30:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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