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In situ hydrogen and nitrogen radicals surface modification of aluminum gallium nitride for high-performance aluminum gallium Nitride/Gallium nitride MIS-HEMTs fabrication
用于高性能氮化铝镓/氮化镓MIS-HEMTs制备的氮化铝镓原位氢氮自由基表面改性
相关领域
氮化镓 镓 材料科学 氮化物 制作 铝 氢 氮化铝 宽禁带半导体 光电子学 纳米技术 冶金 化学 替代医学 有机化学 病理 医学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.162993
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.162993 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Yannan Yang; Yifei Zhao; Maolin Pan; Kaiyue Zhu; Haitao Huang; et al
出版日期：2025-03-01
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紧张的刺猬 在 2025-04-08 09:31:25 发布自上海，悬赏 10 积分
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