Diffusion of Hydrosilanes from the Control Layer to the Vinylsilane-Rich Flow Membrane during the Fabrication of Microfluidic Chips

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标题	Diffusion of Hydrosilanes from the Control Layer to the Vinylsilane-Rich Flow Membrane during the Fabrication of Microfluidic Chips 微流控芯片制备过程中氢化硅烷从控制层向富含乙烯基硅烷的流动膜的扩散相关领域膜制作乙烯基硅烷微流控扩散极限抗拉强度材料科学图层（电子）化学工程复合材料化学分析化学（期刊）纳米技术色谱法有机化学医学生物化学替代医学物理病理工程类热力学催化作用
网址	https://doi.org/10.1021/la0514866
DOI	10.1021/la0514866 doi
其它	期刊：Langmuir 作者：Dongjie Guo; Shou‐Jun Xiao; Hongbo Liu; Jie Chao; Bing Xia; et al 出版日期：2005-10-06
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