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Cubic ScxAl1-xN solid solution thin films deposited by reactive magnetron sputter epitaxy onto ScN(111)
反应磁控溅射外延在ScN(111)上沉积立方ScxAl1-xN固溶体薄膜
相关领域
材料科学
固溶体
外延
溅射沉积
溅射
纤锌矿晶体结构
薄膜
透射电子显微镜
化学计量学
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分析化学(期刊)
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化学
锌
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冶金
物理化学
色谱法
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