Effect of deposition angle on the structure and properties of pulsed-DC magnetron sputtered TiAlN thin films

已完结

文献求助详情

标题	Effect of deposition angle on the structure and properties of pulsed-DC magnetron sputtered TiAlN thin films 沉积角对脉冲直流磁控溅射TiAlN薄膜结构和性能的影响相关领域材料科学微晶溅射沉积基质（水族馆）纹理（宇宙学）极点图纳米压痕腔磁控管薄膜复合材料纳米晶材料溅射沉积（地质）物理气相沉积脉冲直流结晶学光学涂层冶金微观结构化学纳米技术地质学物理古生物学人工智能图像（数学）海洋学生物计算机科学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.02.090
DOI	10.1016/j.tsf.2011.02.090 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Akshath R. Shetty; A. Karimi; Marco Cantoni 出版日期：2011-03-16
求助人	zcw 在 2024-12-04 19:57:16 发布自山东，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: jessie完成签到，获得积分10

9秒前; 大模型上传了应助文件

16秒前; 曾经不言完成签到，获得积分10

29秒前; 明某到此一游完成签到，获得积分10

45秒前; 研友_nxw2xL完成签到，获得积分10

1分钟前; hongxuezhi完成签到，获得积分10

1分钟前; muriel完成签到，获得积分10

1分钟前; 盛事不朽完成签到，获得积分10

2分钟前; 儒雅的夏翠完成签到，获得积分10

2分钟前; 阿木木完成签到，获得积分10

2分钟前; 千里草完成签到，获得积分10

2分钟前; 面向杂志编论文上传了应助文件

3分钟前; 方琼燕完成签到，获得积分10

4分钟前; juan完成签到，获得积分10

4分钟前; 彭于晏的应助被去去去去采纳，获得30

4分钟前; 面向杂志编论文上传了应助文件

4分钟前; 彭于晏上传了应助文件

5分钟前; 去去去去发布了新的文献求助30

5分钟前; 从容芮的应助被科研通管家采纳，获得10

5分钟前; 面向杂志编论文关闭了小彭的文献求助

6分钟前; 面向杂志编论文撤回了应助文件

6分钟前; 师大刘亦菲完成签到，获得积分10

6分钟前; 李健上传了应助文件

7分钟前; 北雨发布了新的文献求助10

7分钟前; 华仔的应助被去去去去采纳，获得30

7分钟前; 华仔上传了应助文件

8分钟前; Carina完成签到，获得积分10

8分钟前; 去去去去发布了新的文献求助30

8分钟前; 8R60d8的应助被去去去去采纳，获得10

8分钟前; 科研通AI2S的应助被去去去去采纳，获得10

8分钟前; 今后的应助被去去去去采纳，获得30

8分钟前; 北雨完成签到，获得积分20

8分钟前; lettersong关闭了lettersong的文献求助

8分钟前; 面向杂志编论文上传了应助文件

9分钟前; lanxinyue的应助被科研通管家采纳，获得10

9分钟前; 面向杂志编论文上传了应助文件

9分钟前; 紫熊发布了新的文献求助10

10分钟前; 面向杂志编论文上传了应助文件

10分钟前; lettersong关注了科研通微信公众号

10分钟前; 方白秋完成签到，获得积分10

10分钟前