High performance EUV multilayer optics

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标题	High performance EUV multilayer optics 高性能EUV多层光学器件相关领域极紫外光刻光学计算机科学物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.796150
DOI	10.1117/12.796150 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Norbert Kaiser; Sergiy Yulin; Marco Perske; Torsten Feigl 出版日期：2008-09-19
求助人	Maruko_0_ 在 2024-12-04 01:33:55 发布自吉林，悬赏 20 积分
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