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Selective wet etching of Si3N4/SiO2 in phosphoric acid with the addition of fluoride and silicic compound
添加氟化物和硅化合物的磷酸中Si3N4/SiO2选择性湿法刻蚀
相关领域
硅酸
选择性
磷酸
缓冲氧化物腐蚀
氟化物
硅质
蚀刻(微加工)
化学
氟
腐蚀坑密度
无机化学
材料科学
有机化学
图层(电子)
反应离子刻蚀
催化作用
地震学
地质学
火山
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