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标题
Improvement of the resistivity uniformity of 8-inch 4H–SiC wafers by optimizing the thermal field
优化热场改善8英寸4H-SiC晶片电阻率均匀性
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网址
https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.112961
DOI
10.1016/j.vacuum.2024.112961 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：G. X. Hu; Guanglei Zhong; Xixi Xiong; Huadong Li; Hongyu Shao; et al
出版日期：2024-01-10
求助人
独孤阳光 在 2024-12-23 15:37:45 发布自河北，悬赏 10 积分
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