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 Ultra-low frequency active vibration isolation in high precision equipment with electromagnetic suspension: Analysis and experiment 高精度电磁悬浮设备超低频主动隔振分析与实验
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期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者：Xiling Xie; Peitao He; Di Wu; Zhiyi Zhang 出版日期：2023-07-21 |
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