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标题
Photoresist development as a reaction-diffusion process (Conference Presentation)
作为反应扩散过程的光刻胶显影(会议演示)
相关领域
光刻胶 介绍(产科) 过程开发 过程(计算) 扩散 计算机科学 扩散过程 工艺工程 材料科学 纳米技术 工程类 物理 创新扩散 图层(电子) 医学 热力学 知识管理 放射科 操作系统
网址
DOI
10.1117/12.2538165 doi
其它 期刊:
作者:Gurdaman Khaira; Yuri Granik
出版日期:2019-10-17
求助人
davey 在 2024-12-31 15:01:07 发布自安徽,悬赏 20 积分
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