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 Modeling and Optimizing the Impact of Process and Equipment Parameters in Sputtering Deposition Systems Using a Gaussian Process Machine Learning Framework 使用高斯工艺机器学习框架对溅射沉积系统中工艺和设备参数的影响进行建模和优化
相关领域
高斯过程
克里金
过程（计算）
溅射
计算机科学
机器学习
解算器
公制（单位）
人工智能
算法
高斯分布
工程类
材料科学
量子力学
运营管理
操作系统
薄膜
物理
纳米技术
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Christopher I. Lang; Alexander Jansen; Sima Didari; Prashanth Kothnur; Duane S. Boning 出版日期：2022-05-01 |
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