Development of a Magnetic Levitation Wafer Handling Robot Transfer System with High-Accuracy and High-Cleanliness: Experimental Evaluation

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标题	Development of a Magnetic Levitation Wafer Handling Robot Transfer System with High-Accuracy and High-Cleanliness: Experimental Evaluation 高精度高清洁度磁悬浮晶圆搬运机器人传送系统的研制：实验评价相关领域薄脆饼悬浮磁悬浮控制器（灌溉）机械工程汽车工程工程类材料科学磁铁电气工程生物农学
网址	https://www.mdpi.com/2076-3417/13/16/9482/pdf?version=169267...
DOI	10.3390/app13169482 doi
其它	期刊：Applied Sciences 作者：Chang-Wan Ha; Sungho Jung; Jinseong Park; Jaewon Lim 出版日期：2023-08-21
求助人	yq421421 在 2024-10-28 14:46:58 发布自广东，悬赏 10 积分
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